トゥースフォーク
半導体自動搬送装置における主要なエンドグリップ部品は、主にウェーハの搬送、ピックアンドプレース、およびローディング中に確実な支持を提供し、滑り、位置ずれ、またはエッジの傷を防ぐ役割を果たします。処理中、歯付きフォーク先端の溝の形状、厚さ、および幾何学的形状は、ウェーハ位置決めの一貫性を確保し、高速自動搬送中のプロセスリスクを低減するために、極めて高い精度を維持する必要があります。
高い幾何学的精度、精密な溝形状と薄肉プロファイル
半導体自動搬送装置における主要なエンドグリップ部品は、主にウェーハの搬送、ピックアンドプレース、およびローディング中に確実な支持を提供し、滑り、位置ずれ、またはエッジの傷を防ぐ役割を果たします。処理中、歯付きフォーク先端の溝の形状、厚さ、および幾何学的形状は、ウェーハ位置決めの一貫性を確保し、高速自動搬送中のプロセスリスクを低減するために、極めて高い精度を維持する必要があります。