OEMサービス硬くて脆い材料の加工

サポートチューブは主に半導体成膜キャビティで使用され、プロセス構造の安定性を確保するために、ウェーハや石英リングを支持・位置決めする役割を担います。サポートチューブは、薄肉または長尺円筒状の加工中に亀裂や欠けが生じやすいため、加工中は良好な寸法精度を維持する必要があり、真円度、直角度、同心度を高い精度で保持しなければなりません。