シャワーヘッドシリーズ
ウェーハの洗浄、エッチング、化学機械研磨（CMP）工程において、シャワーヘッドノズルは、安定した流量と均一な分布を維持し、局所的な擦り傷や凹凸を回避し、表面の平坦性と歩留まりを確保するために、化学溶液または脱イオン水をウェーハ表面に均一に噴霧する必要があります。
マイクロ穴加工、高速・低振れ
穴径、角度、配置のカスタマイズ設計に対応
高速・低発熱、安定した量産
ウェーハの洗浄、エッチング、化学機械研磨（CMP）工程において、シャワーヘッドノズルは、安定した流量と均一な分布を維持し、局所的な擦り傷や凹凸を回避し、表面の平坦性と歩留まりを確保するために、化学溶液または脱イオン水をウェーハ表面に均一に噴霧する必要があります。